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白光干涉仪技术难点：高精度易达成大视场高分辨率难以兼顾

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）借助短相干干涉原理，在小视场条件下实现亚纳米级垂直测量精度已较为成熟，可稳定输出 Ra...

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2026

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09

芯片全制程 表面形貌 (Surface Morpholog...

半导体芯片制造包含数百道精密工序，晶圆表面形貌（Surface Morphology）与粗糙度的细微偏差，会逐级传导至光刻、刻蚀、薄膜沉积等核心制程，引发图形畸变...

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2026

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白光干涉仪精度趋于同质化大视场 表征能力成为关键突破点

随着光学干涉元器件与算法迭代，市面主流白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）在小视场条件下的垂直测量精度已趋于同质化，均可实...

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2026

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USI 白光扫描：多层微纳工件形貌检测数据异常（Data A...

透明金属叠层结构（Transparent-Metal Stack Structure）微纳形貌失真原理溯源本文基于设备原厂手册及公开招标资料，分析通用扫描干涉（U...

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